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硅片清洗水处理

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善居环保
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基本情况


微量污染也会导致器件失效。清洗的目的在于清除表面污染杂质,包括有机物和无机物。这些杂质有的以原子状态或离子状态,有的以薄膜形式或颗粒形式存在于硅片表面。有机污染包括光刻胶、有机溶剂残留物、合成蜡和人接触器件、工具、器皿带来的油脂或纤维。无机污染包括重金属金、铜、铁、铬等,严重影响少数载流子寿命和表面电导;碱金属如钠等,引起严重漏电;颗粒污染包括硅渣、尘埃、细菌、微生物、有机胶体纤维等,会导致各种缺陷。


工艺流程图



方案优势


1、主要零部件均采用世界名牌産品,经CAD设计,技术先进,性能可靠、産水性能优良。

2、前置预处理保护装置,确保高压泵及反渗透膜不受硬物损坏。

3、脱盐率高,运行压力低的卷式复合膜提高了系统效率,并除低了运行成本。

4、産品浓缩水各设有流量计,以监视并调节运行出水量及系统回收率。

5、在线电导仪表连续监测産品水质,带有设定值和报警。

6、进水及排水系统压力表监测反渗透压差,提示清洗时间,全面的系统监视,自动的仪表显示。

7、灵敏的高压、低压开关;防止在异常状况下对设备的损坏,确保系统的正常运转。

8、硅材料清洗用超纯水处理设备采用先进的膜保护系统定时冲洗膜表面,降低污染速度,延长膜使用寿命。

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