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集成电路芯片用纯水设备

来源:
善居环保
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发布日期:


基本情况


导体、集成电路芯片及封装、液晶显示、高精度线路板、光电器件、各种电子器件、微电子工业、大规模、大规模集成电路需用大量的纯水、高纯水、超纯水清洗半成品、成品。集成电路的集成度高,线宽窄,对水质的要求也越高。目前我国电子工业部把电子级水质技术分为五个行业等级,分别为18MΩ.cm15MΩ.cm10MΩ.cm2MΩ.cm0.5MΩ.cm,以区分不同水质。


工艺流程图



方案优势


1、系统采用新水处理技术双级RO+EDI+混床模块化设计,严格按新技术设计标准,确保水质稳定,长效运行。

2、通过专业技术设计,确保系统短时停机及长时间停机时水质保持稳定。

3、通过专业技术保证终端出水恒压、水质稳定。

4、通过完善的技术大限度的提高系统回收率,降低能耗和运行成本。

5、采用海德能ESPA2超低压膜,运行稳定,能耗低。

6、采用PH调节系统以确保水温下降或原水PH值偏低时EDI出水水质。

7、配备专门的有化学清洗系统,可定期对反渗透进行化学清洗,以确保系统稳定运行。

8、配备浓水置换专业技术,防止膜系统受到微生物污染。

9、EDI及后段出水采用超纯水专用管道,大限度的保证出水水质。

10、EDI水箱采用氮封装置,以确保终端水质稳定及延长核能混床寿命。

11、采用PLC加触摸屏控制系统,并采用进口电气原件,操作方便,运行稳定。

12、电子半导体行业用超纯水设备主体材料全部采用行业内国际知名品牌,保质保量,并按配置设计。

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